FM-FFS200自由曲面三維面型檢測系統

FFS三維面型檢測系統產品特點

1、自由曲面反射鏡及其它光學元件表面的光學非接觸、全場3D輪廓測量。

2、測量過程簡單,無需精密調整樣品姿態, 單件測量時間一般小于 20 秒；檢測效率遠遠優于三坐標和 UA3P 等接觸式三維檢測設備，適合用于自由曲面光學面的全檢。

3、基于CAD模型或者方程式的三維面型數據比對分析，可自動完成面型質量評價，輸出信息完善：

包含完善的3D誤差分布圖、上下公差比例計算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。

4、完備的擬合分析：xy 多項式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。

5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷?？梢蕴峁?a href="/products/microscope/2171-0-0-0-0" title="暗場" target="_blank" >暗場缺陷分析?？梢愿鶕脩粜枨箝_發統計功能。

6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報告。

7、單點車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點車反射鏡面型誤差測量結果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um

8、完善的測量輸出功能（測量原始數據輸出、可訂制化檢測報告輸出以及 Log 統計文件輸出），可根據用戶需求訂制輸出報告的內容格式。

FFS三維檢測系統技術參數

測量模塊

技術指標

1、光學自由曲面三維面型檢測系統（標準模式）

標準模塊

特點：

• 大視場，適應大多數反射鏡零件測量
• 最大測量視場:400x250mm，橫向采樣分辨率達到 0.2mm
• 光學面型數據單次測量不確定度: +/-2um，樣品傾角范圍+/-15度
• 包含研究型檢測功能和一鍵式檢測功能

2、高分辨測量模式，鏡面三維檢測

標準模塊

特點：高橫向分辨率、較高陡度、適合較大陡度和凸面測量

高分辨測量模式技術參數：

• 最大測量視場： 300mmx150mm 橫向采樣可達 0.05mm
• 光學面型單次測量不確定度: +/-2um
• 陡度范圍+/-30 度

3、結構光測量模式，漫反射表面三維檢測

可選購，集成于模塊 1 中

特點：鏡面噴粉測量、漫反射表面檢測、夾具檢測

結構光漫射表面三維測量技術參數：

• 單次測量區域：150mmX150mmX50mm（可拼接）
• 測量精度 0.01mm

4、在線型測量模式

• 可根據用戶需求定制
• 一鍵式三維面型測量及誤差分析（一般周期 40s 內）
• 流水線式檢測
• 可根據用戶需求開發協作機械臂輔助無人化自動檢測